等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下:

(1)電場+電子 → 高能電子

(2)高能電子+分子(或原子) (受激原子、受激基團、游離基團)活性基團

(3)活性基團+分子(原子)→生成物+熱

(4)活性基團+活性基團→生成物+熱

從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev，適當控制反應條件可以實現一股情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。作為環境污染處理領域中的一項具有極強潛在優勢的高新技術，等離子體受到了國內外相關學科界的高度關注。

低溫等離子體技術在環境工程中的應用

低溫等離子體技術在廢氣處理中的應用隨著工業經濟的發展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業產生的揮發性有機廢氣也日漸增多，這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時間，還會擴散和漂移到較遠的地方，給環境帶來嚴重的污染，這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康產生極大的危害;另外工業煙氣的無控制排放使全球性的大氣環境日益惡化，酸雨(主要來源于工業排放的硫氧化物和氮氧化物)的危害引起
了各國的重視。由于大氣受污染而酸化，導致了生態環境的破壞，重大災難頻繁發生，給人類造成了巨大損失。因此選擇一種經濟、可行性強的處理方法勢在必行。降解揮發性有機污染物(VOCs)傳統的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現，而光催化降解VOCs又存在催化劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優勢。但由于等離子體是一門包含放電物理學、放電化學、化學反應工程學及真空技術等基礎學科之.上的交叉學科。因此,目前能成熟的掌握該技術的單位非常的少。大部分宣傳采用低溫等離子技術處理廢氣的宣傳都不是真正意義上的低溫等離子廢氣處理技術。

光催化氧化原理

TiO2具有化學穩定性好、無毒、價廉、易得、具有較正的價帶電位和較負的導帶電位等特點，是理想的光催化劑，也是目前使用最多的一類光催化劑。光催化氧化反應，就是讓太陽光或其他-一定能量的光照射光敏半導體催化劑時，激發半導體的價帶電子發生帶間躍遷，即從價帶躍遷到導帶，從而產生光生電子(e- )和空穴(h+)。此時吸附在納米顆粒表面的溶解氧俘獲電子形成超氧負離子，而空穴將吸附在催化劑表面的氫氧根離子和水氧化成氫氧自由基。而超氧負離子和氫氧自由基具有很強的氧化性，能使幾乎所有的有機污染物氧化至最終產物CO2和H2O，甚至對一些無機污染物也能徹底分解，不存在吸附飽和與二次污染問題。